后端工艺布线(后端布局布线) 芯片制造里的前端工艺和后端工艺芯片制造被普遍称为前段制程,而封装则对应后段制程。其中前段制程又分为前端工艺(FEOL)和后端工艺(BEOL)。前端工艺主要涉及制造晶体管等有源组件,而后端工艺则专注在后续的多层布线互连。FEOL与BEOL通过MOL(金属层)连接,MOL由微小金属结构组成,...